半导体用去离子水设备的处理过程

       半导体用去离子水设备的处理过程是一个精细且复杂的过程,主要目的是去除水中的离子和杂质,以提供高纯度的去离子水满足半导体生产的需求。以下是该设备处理过程的主要步骤:

       1. 原水预处理:原水可以是自来水或其他水源。首先,通过预处理系统去除水中的大颗粒杂质、悬浮物、有机物和微生物等。这通常包括使用石英砂过滤器、活性炭过滤器等设备。

       2. 反渗透(RO)系统:反渗透是去离子水设备中的核心部分。在高压下,水分子通过半透膜,而大部分溶解的离子、有机物、微生物等则被截留在膜的一侧。这样,就得到了较为纯净的水。

       3. 离子交换(IX)系统:经过反渗透处理后的水再通过离子交换系统。这里主要使用阳离子交换树脂和阴离子交换树脂。阳离子交换树脂能够吸附水中的阳离子(如钠离子、钙离子等),同时释放出氢离子;阴离子交换树脂则吸附水中的阴离子(如氯离子、硫酸根离子等),同时释放出氢氧根离子。这样,水中的离子就被大量去除。

       4. 电去离子(EDI)系统:在离子交换系统之后,通常还会使用电去离子(EDI)系统。EDI是一种结合了离子交换和电渗析技术的工艺,能够在电场的作用下,通过离子交换膜将水中的离子去除,同时产生高纯度的去离子水。

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       5. 终端处理:在EDI系统之后,可能还会进行一些终端处理,如紫外线杀菌、超滤等,以确保去离子水的纯度和安全性。

       6. 水质监测:在整个处理过程中,需要对水质进行实时监测,以确保去离子水的质量符合半导体生产的要求。这通常包括电阻率、pH值、微生物含量等指标。

       通过以上步骤,半导体用去离子水设备能够去除水中的离子和杂质,提供高纯度的去离子水,满足半导体生产对水质的高要求。

2024年05月10日