从中水回用到超纯水制备是一个涉及多个步骤和技术的过程。以下是一个基本的概述：

1. 中水回用：

       中水回用技术是指将小区居民生活废（污）水（如沐浴、盥洗、洗衣、厨房、厕所等）集中处理后，达到一定的标准回用于小区的绿化浇灌、车辆冲洗、道路冲洗、家庭坐便器冲洗等，从而达到节约用水的目的。中水回用是污水资源化的重要举措，可有效解决水资源短缺问题。

       中水回用的处理工艺一般包括物理处理法（如膜滤法、蒸发热法等）、生物处理法（如活性污泥法、生物膜法等）以及化学处理法（如混凝沉淀法、氧化还原法等）。这些处理方法的选择取决于原水的水质、水量以及回用水的用途等因素。

2. 超纯水制备：

       超纯水是指电阻率大于18MΩ·cm（25℃）的水，通常用于实验室、电子工业、半导体制造等领域。超纯水的制备过程主要包括以下几个步骤：

       （1）预处理：去除水中的悬浮物、胶体、有机物等杂质，通常采用机械过滤、活性炭吸附、离子交换等方法。

       （2）反渗透（RO）处理：利用半透膜的选择透过性，去除水中的溶解性盐类、有机物、细菌等杂质，使水的纯度得到大幅提高。

       （3）电去离子（EDI）处理：在电场的作用下，通过离子交换膜和树脂的协同作用，进一步去除水中的离子和有机物，使水的纯度达到超纯水的标准。

       （4）抛光处理：根据需要，可以采用抛光树脂装置对超纯水进行进一步的纯化处理，以满足特定领域对水质的高要求。

       综合来说，从中水回用到超纯水制备是一个复杂的过程，需要采用多种技术和设备来实现。在实际应用中，需要根据原水的水质、水量以及回用水的用途等因素来选择合适的处理工艺和设备。