新型电池生产用超纯水设备的工艺流程可以大致分为以下几个关键步骤，以确保生产出的超纯水满足电池行业对水质的高要求：

      1. 原水准备：

      选用自来水、普通蒸馏水或普通去离子水作为原水。

      2. 预处理系统：

      原水首先进入预处理系统，包括原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统等，目的是去除原水中的大颗粒杂质、悬浮物、色度、异味、生化有机物等。

      3. 双级反渗透系统：

      预处理后的水进入双级反渗透系统，通过保安过滤器、RO高压泵和反渗透系统，利用反渗透膜滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。

      反渗透主机主要由高压泵、膜壳、进口反渗透膜组件、在线仪表、控制电气等组成，确保脱盐率和产水量达到预定指标，出水电导率控制在≤10us/CM以下（原水电导率小于500us/cm，工作温度：1～40℃）。

      4. EDI系统：

      经过双级反渗透系统处理后的水进入EDI系统，通过电去离子技术进一步提高水的纯度，将水的电阻率从较低值提高到5～16MΩ·cm，甚至更高。

      EDI系统通过直流电场的作用，使水中的离子在树脂上进行交换并迁移到浓水室，从而实现深度除盐。

      5. 后处理部分：

      根据客户需求，对反渗透制取的纯水进行进一步的深化处理，通常是采用离子交换混床设备或EDI设备，使出水阻率达到客户要求的标准，如18.2MΩ·CM。

      如果超纯水用于直饮水工艺，还需添加杀菌装置，如紫外线杀菌器或臭氧发生器，确保水质达到直饮标准。

      6. 用水点：

      经过上述工艺流程处理后的超纯水被输送到电池生产的各个用水点，如电解液配备、清洗等环节，确保电池生产的顺利进行和产品质量。

      以上工艺流程结合了反渗透技术和EDI技术的优势，能够有效去除水中的杂质和离子，生产出高纯度的超纯水，满足电池行业对水质的高要求。同时，该工艺流程还具有运行成本低、超纯水回收率高等优点。