电子工业用的纯水通常是通过以下几种水处理设备制取的：

       一、主要设备系统

       1. 预处理系统：预处理系统通常由多介质过滤器、活性炭过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等组成，用于去除原水中的悬浮物、有机物、胶体、余氯、重金属离子等杂质，为后续处理提供合格的进水。

       2. RO反渗透主机系统：RO反渗透主机系统采用反渗透膜技术，通过高压泵将预处理后的水加压至反渗透膜一侧，使水分子通过反渗透膜而盐分、有机物、微生物等杂质被截留在膜的另一侧，从而得到较为纯净的水。

       3. 离子交换混床（EDI电除盐系统）：离子交换混床或EDI电除盐系统用于进一步去除水中的离子杂质，提高水的纯度。离子交换混床通过阴阳离子交换树脂的混合使用，使水中的阴阳离子分别与树脂上的相应离子进行交换，从而达到去除离子的目的。而EDI电除盐系统则利用电场作用，使水中的离子通过电迁移和扩散作用被去除，同时产生的水解离产生的氢离子和氢氧根离子对树脂进行再生，无需使用酸碱等化学药剂。

       二、工艺流程

       电子工业用纯水的制取工艺流程主要有以下几种：

       1. 离子交换树脂制备工艺：原水经过预处理系统后进入阳床、阴床、混床（复床）进行离子交换，最终得到超纯水。这种工艺的优点在于初次投资少，但离子再生需要耗费大量酸碱，对环境有一定破坏。

       2. 反渗透与离子交换组合工艺：原水经过预处理系统后进入反渗透设备进行脱盐处理，然后再经过混床（复床）进行离子交换，最终得到超纯水。这种工艺结合了反渗透的高效脱盐能力和离子交换的深度除杂能力，初次投资稍高，但离子再生周期相对较长，耗费的酸碱较少。

       3. 反渗透与EDI组合工艺：原水经过预处理系统后进入反渗透设备进行脱盐处理，然后再经过EDI电除盐系统进行深度除杂和离子交换，最终得到超纯水。这是目前制取超纯水最先进、最环保的工艺之一，无需使用酸碱进行再生，对环境无破坏性，但初次投资相对较高。

       电子工业用的纯水通常是通过由多介质过滤器、活性炭过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等构成的预处理系统、RO反渗透主机系统以及离子交换混床（或EDI电除盐系统）等设备系统制取的。根据具体需求和条件的不同，可以选择不同的工艺流程来制取符合要求的纯水。